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PMMA 聚甲基丙烯酸甲酯 是一種用途廣泛的聚合物,適用于多種成像和非成像微電子應(yīng)用。它常被用作電子束直寫(xiě)、X 射線和深紫外光刻工藝中的高分辨率正性光刻膠,也可用作晶圓減薄的保護(hù)涂層、鍵合粘合劑以及犧牲層。
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